CMP Optic Profile Controller 개발
- STM32F407 CPU를 이용 Embedded Software 작성
- Oxide Polishing 중 In-Situ Zone Pressure Control
- Real-Time Dynamic Data Point Tracking
CMP Optic EPD(End Point Detector) 개발
- Oxide CMP 공정에 사용(S사)
- 주요 개발 기술/개념
Spectrometer 방식, H/W Trigger Data Acquisition
Recipe에 User Programmable 조건 설정
STM32F407 CPU보드 개발
- IAR Embedded Workbench에서 C/C++로 장치 개발
- CMP 장치 Motion Controller, EPD 장치에 활용
EtherCAT IO Module 개발
- CMP 장비 내 소형/방수 Module 사용
- EtherCAT Slave, 보드간 SPI 통신 사용
CMP(Chemical Mechanical Polishing) 장비 Software 개발
- Visual C++에 의해 Scheduler, EFEM interface, PMC, CMC, UI
- SECSGEM Driver software 및 Grid, Chart, Shared Memory Server용 ATL 개발
- 주요 개발 기술/개념
Hieracrhical State Machine에 의한 장비 Control
Inter-Process Communication(IPC) 개념/응용 확립
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